光学技术
光學技術
광학기술
OPTICAL TECHNOLOGY
2007年
3期
354-356
,共3页
牛丽红%冯玉春%阔晓梅%王云程
牛麗紅%馮玉春%闊曉梅%王雲程
우려홍%풍옥춘%활효매%왕운정
硅%微通道板%定向离子刻蚀%电子倍增
硅%微通道闆%定嚮離子刻蝕%電子倍增
규%미통도판%정향리자각식%전자배증
阐述了新一代硅微通道板的主要性能.采用定向离子深度刻蚀技术在2和4硅片上刻蚀了四组不同直径的硅微通道板微孔阵列,分别采用PECVD技术和液体化学沉积两种方法制作了硅微通道板的连续打拿极,从而探索了研制新一代硅微通道板的途径.利用紫外光电法测试了硅微通道板的增益和增益均匀性.实验结果表明,如果进一步改进制备工艺,硅微通道板可以实现较传统微通道板更高的增益和更好的增益均匀性.
闡述瞭新一代硅微通道闆的主要性能.採用定嚮離子深度刻蝕技術在2和4硅片上刻蝕瞭四組不同直徑的硅微通道闆微孔陣列,分彆採用PECVD技術和液體化學沉積兩種方法製作瞭硅微通道闆的連續打拿極,從而探索瞭研製新一代硅微通道闆的途徑.利用紫外光電法測試瞭硅微通道闆的增益和增益均勻性.實驗結果錶明,如果進一步改進製備工藝,硅微通道闆可以實現較傳統微通道闆更高的增益和更好的增益均勻性.
천술료신일대규미통도판적주요성능.채용정향리자심도각식기술재2화4규편상각식료사조불동직경적규미통도판미공진렬,분별채용PECVD기술화액체화학침적량충방법제작료규미통도판적련속타나겁,종이탐색료연제신일대규미통도판적도경.이용자외광전법측시료규미통도판적증익화증익균균성.실험결과표명,여과진일보개진제비공예,규미통도판가이실현교전통미통도판경고적증익화경호적증익균균성.
