核技术
覈技術
핵기술
NUCLEAR TECHNIQUES
2009年
3期
229-232
,共4页
黄磊%王浪平%王小峰%闫久春%解志文%陆洋
黃磊%王浪平%王小峰%閆久春%解誌文%陸洋
황뢰%왕랑평%왕소봉%염구춘%해지문%륙양
PⅢ&D%大面积%金属等离子体%沉积均匀性
PⅢ&D%大麵積%金屬等離子體%沉積均勻性
PⅢ&D%대면적%금속등리자체%침적균균성
传统的磁过滤阴极真空弧系统的金属等离子体输出面积较小且出口处的密度呈高斯分布,阻碍了等离子体浸没离子注入与沉积(PⅢ&D)技术的工业化应用,使得大面积均匀金属等离子体的产生成为了业内研究的热点.本文提出了一种基于多阴极脉冲真空弧源对称配置的中心螺线圈式大面积均匀金属等离子体形成方法,可输出直径约为600mm的金属等离子体.沉积探针结果表明:载流螺线圈对沉积均匀性有较大的影响.单源X方向的沉积均匀性优于Y方向的沉积均匀性;四弧源的离子流密度约为单源的5.5倍,沉积均匀性最高可达83.8%.
傳統的磁過濾陰極真空弧繫統的金屬等離子體輸齣麵積較小且齣口處的密度呈高斯分佈,阻礙瞭等離子體浸沒離子註入與沉積(PⅢ&D)技術的工業化應用,使得大麵積均勻金屬等離子體的產生成為瞭業內研究的熱點.本文提齣瞭一種基于多陰極脈遲真空弧源對稱配置的中心螺線圈式大麵積均勻金屬等離子體形成方法,可輸齣直徑約為600mm的金屬等離子體.沉積探針結果錶明:載流螺線圈對沉積均勻性有較大的影響.單源X方嚮的沉積均勻性優于Y方嚮的沉積均勻性;四弧源的離子流密度約為單源的5.5倍,沉積均勻性最高可達83.8%.
전통적자과려음겁진공호계통적금속등리자체수출면적교소차출구처적밀도정고사분포,조애료등리자체침몰리자주입여침적(PⅢ&D)기술적공업화응용,사득대면적균균금속등리자체적산생성위료업내연구적열점.본문제출료일충기우다음겁맥충진공호원대칭배치적중심라선권식대면적균균금속등리자체형성방법,가수출직경약위600mm적금속등리자체.침적탐침결과표명:재류라선권대침적균균성유교대적영향.단원X방향적침적균균성우우Y방향적침적균균성;사호원적리자류밀도약위단원적5.5배,침적균균성최고가체83.8%.
