半导体技术
半導體技術
반도체기술
SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY
2010年
11期
1083-1086
,共4页
李巨晓%孙新利%王飞尧%何国君
李巨曉%孫新利%王飛堯%何國君
리거효%손신리%왕비요%하국군
硅单晶%晃动%单摆%晶转%直拉法
硅單晶%晃動%單襬%晶轉%直拉法
규단정%황동%단파%정전%직랍법
晃动是直拉法硅单晶生长中的常见现象.晃动会导致晶体生长控制系统出现异常,提拉速度波动幅度大,同时还引起熔体对流的不稳定以及杂质微观扩散的紊乱.这不仅对硅单晶的无位错生长造成一定的困难,而且对硅单晶的品质有十分不利的影响.分析了直拉硅单晶生长时晃动的影响因素.利用MATLAB软件及现有振动激励下的单摆动力学模型对CG6000型单晶炉进行单晶晃动的理论计算,理论上分析了各参数变化对单晶晃动的影响.在此基础上提出了改变晶体转速的工艺来控制单晶晃动及晶体形变的方法,并总结了若干减少晶体晃动的措施.
晃動是直拉法硅單晶生長中的常見現象.晃動會導緻晶體生長控製繫統齣現異常,提拉速度波動幅度大,同時還引起鎔體對流的不穩定以及雜質微觀擴散的紊亂.這不僅對硅單晶的無位錯生長造成一定的睏難,而且對硅單晶的品質有十分不利的影響.分析瞭直拉硅單晶生長時晃動的影響因素.利用MATLAB軟件及現有振動激勵下的單襬動力學模型對CG6000型單晶爐進行單晶晃動的理論計算,理論上分析瞭各參數變化對單晶晃動的影響.在此基礎上提齣瞭改變晶體轉速的工藝來控製單晶晃動及晶體形變的方法,併總結瞭若榦減少晶體晃動的措施.
황동시직랍법규단정생장중적상견현상.황동회도치정체생장공제계통출현이상,제랍속도파동폭도대,동시환인기용체대류적불은정이급잡질미관확산적문란.저불부대규단정적무위착생장조성일정적곤난,이차대규단정적품질유십분불리적영향.분석료직랍규단정생장시황동적영향인소.이용MATLAB연건급현유진동격려하적단파동역학모형대CG6000형단정로진행단정황동적이론계산,이론상분석료각삼수변화대단정황동적영향.재차기출상제출료개변정체전속적공예래공제단정황동급정체형변적방법,병총결료약간감소정체황동적조시.
