非晶态Se及掺杂Sb的Se薄膜晶化特性研究
비정태Se급참잡Sb적Se박막정화특성연구
Characteristics of Crystallization of Se Thin Films and Se Films Doped with Sb
  • 万方数据
    人工晶体学报 인공정체학보

    1998年 1期 70-74 ,共5页

    叶水驰%鲍海飞%蓝慕杰

    협수치%포해비%람모걸

    Se薄膜%掺杂Sb的Se薄膜%晶化%微裂纹 Se薄膜%摻雜Sb的Se薄膜%晶化%微裂紋
    Se박막%참잡Sb적Se박막%정화%미렬문
    利用光学显微镜和X射线衍射技术,分析了非晶态Se和掺杂Sb的Se薄膜的晶化特性.Se薄膜由于保存周期不同以及Sb掺杂到Se中的Sb含量的多少都会影响Se的晶化特性;在热处理下薄膜的晶化呈现各向异性的择优生长.分析了晶化过程中微裂纹的产生,晶界的产生和体积收缩.薄膜与衬底之间的热应力是产生微裂纹的主要因素.
    이용광학현미경화X사선연사기술,분석료비정태Se화참잡Sb적Se박막적정화특성.Se박막유우보존주기불동이급Sb참잡도Se중적Sb함량적다소도회영향Se적정화특성;재열처리하박막적정화정현각향이성적택우생장.분석료정화과정중미렬문적산생,정계적산생화체적수축.박막여츤저지간적열응력시산생미렬문적주요인소.
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