南昌大学学报（工科版）
南昌大學學報（工科版）
남창대학학보（공과판）
JOURNAL OF NANCHANG UNIVERSITY ENGINEERING & TECHNOLOGY EDITION
2011年
2期
194-199
,共6页
硅%切割%金刚石线锯
硅%切割%金剛石線鋸
규%절할%금강석선거
通过单颗金刚石刻划晶体硅实验和金刚石线锯切割晶体硅片表面形貌观察,分析研究了金刚石线锯切割晶体硅的模式.结果表明:在较大正压力下刻划时,金刚石主要以脆性模式切割晶体硅,划痕呈破碎崩坑状,在单颗金刚石刻划实验条件下可看到脆性解理条纹;而在较小的压力下,金刚石主要以塑性模式切割晶体硅,划痕相对平直光滑;金刚石线锯切割晶体硅片时,硅片表面呈现大量由脆性断裂留下的不规则凹坑和较长的光滑划痕,显示出以脆性模式与塑性模式混合切割模式.分析其原因可能是由于切割过程中线锯正下方对晶体硅的压力较大,以脆性模式进行多颗粒反复刻划;而与此同时,线锯侧面金刚石颗粒以小得多侧向压力对切割暴露出的硅表面进行蹭磨刻划,因此产生塑性模式刻划.
通過單顆金剛石刻劃晶體硅實驗和金剛石線鋸切割晶體硅片錶麵形貌觀察,分析研究瞭金剛石線鋸切割晶體硅的模式.結果錶明:在較大正壓力下刻劃時,金剛石主要以脆性模式切割晶體硅,劃痕呈破碎崩坑狀,在單顆金剛石刻劃實驗條件下可看到脆性解理條紋;而在較小的壓力下,金剛石主要以塑性模式切割晶體硅,劃痕相對平直光滑;金剛石線鋸切割晶體硅片時,硅片錶麵呈現大量由脆性斷裂留下的不規則凹坑和較長的光滑劃痕,顯示齣以脆性模式與塑性模式混閤切割模式.分析其原因可能是由于切割過程中線鋸正下方對晶體硅的壓力較大,以脆性模式進行多顆粒反複刻劃;而與此同時,線鋸側麵金剛石顆粒以小得多側嚮壓力對切割暴露齣的硅錶麵進行蹭磨刻劃,因此產生塑性模式刻劃.
통과단과금강석각화정체규실험화금강석선거절할정체규편표면형모관찰,분석연구료금강석선거절할정체규적모식.결과표명:재교대정압력하각화시,금강석주요이취성모식절할정체규,화흔정파쇄붕갱상,재단과금강석각화실험조건하가간도취성해리조문;이재교소적압력하,금강석주요이소성모식절할정체규,화흔상대평직광활;금강석선거절할정체규편시,규편표면정현대량유취성단렬류하적불규칙요갱화교장적광활화흔,현시출이취성모식여소성모식혼합절할모식.분석기원인가능시유우절할과정중선거정하방대정체규적압력교대,이취성모식진행다과립반복각화;이여차동시,선거측면금강석과립이소득다측향압력대절할폭로출적규표면진행층마각화,인차산생소성모식각화.
