实验力学
實驗力學
실험역학
JOURNAL OF EXPERIMENTAL MECHANICS
2011年
5期
592-602
,共11页
何小元%朱飞鹏%徐莹雋%史红健%王澄非%杨福俊
何小元%硃飛鵬%徐瑩雋%史紅健%王澄非%楊福俊
하소원%주비붕%서형준%사홍건%왕징비%양복준
高频频闪照明%同步控制%动态测试%栅线投影%数字图像相关
高頻頻閃照明%同步控製%動態測試%柵線投影%數字圖像相關
고빈빈섬조명%동보공제%동태측시%책선투영%수자도상상관
在微电子机械系统(MEMS)中,执行器的动作主要通过微结构的微小变形来实现,故其动态变形测试具有十分重要的意义.本文采用栅线投影测量和频闪成像技术,研制了一套三维微结构高频动态测试系统,可以实现高速10MHz频率的动态变形测量.由于在频闪测量中,光源照明信号与器件激励信号需严格同步,本文采用直接数字频率合成和现场可编程门阵列(FPGA)技术,研制了超高频激光频闪同步控制器.通过相移栅线投影器及频闪位相控制器,获得了离面位移和背景强度,然后对背景强度运用数码图像相关技术实现面内位移的测量.
在微電子機械繫統(MEMS)中,執行器的動作主要通過微結構的微小變形來實現,故其動態變形測試具有十分重要的意義.本文採用柵線投影測量和頻閃成像技術,研製瞭一套三維微結構高頻動態測試繫統,可以實現高速10MHz頻率的動態變形測量.由于在頻閃測量中,光源照明信號與器件激勵信號需嚴格同步,本文採用直接數字頻率閤成和現場可編程門陣列(FPGA)技術,研製瞭超高頻激光頻閃同步控製器.通過相移柵線投影器及頻閃位相控製器,穫得瞭離麵位移和揹景彊度,然後對揹景彊度運用數碼圖像相關技術實現麵內位移的測量.
재미전자궤계계통(MEMS)중,집행기적동작주요통과미결구적미소변형래실현,고기동태변형측시구유십분중요적의의.본문채용책선투영측량화빈섬성상기술,연제료일투삼유미결구고빈동태측시계통,가이실현고속10MHz빈솔적동태변형측량.유우재빈섬측량중,광원조명신호여기건격려신호수엄격동보,본문채용직접수자빈솔합성화현장가편정문진렬(FPGA)기술,연제료초고빈격광빈섬동보공제기.통과상이책선투영기급빈섬위상공제기,획득료리면위이화배경강도,연후대배경강도운용수마도상상관기술실현면내위이적측량.
