微机械(MEMS)与微细加工技术
미궤계(MEMS)여미세가공기술
The new development of MEMS and micro-machining
  • 万方数据
    河北理工学院学报 하북리공학원학보
    JOURNAL OF INSTITUTE OF TECHNOLOGY
    2004年 2期 34-40 ,共7页

    段润保%赵砚江%毛言理

    단윤보%조연강%모언리

    微机械%MEMS%微细加工%特种加工 微機械%MEMS%微細加工%特種加工
    미궤계%MEMS%미세가공%특충가공
    首先对微机械(MEMS)的分类及其特点作了简明的阐述,在此基础上,着重评介了近年来该领域各种微细加工方法及其能够达到的加工尺度与水平.指出当前微细加工技术仍然在以使用物理和化学能量的特种加工为主,并呈现加工材料扩大化、产品机构复杂和加工手段复合化的发展态势.
    수선대미궤계(MEMS)적분류급기특점작료간명적천술,재차기출상,착중평개료근년래해영역각충미세가공방법급기능구체도적가공척도여수평.지출당전미세가공기술잉연재이사용물리화화학능량적특충가공위주,병정현가공재료확대화、산품궤구복잡화가공수단복합화적발전태세.
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