化学气相沉积法生长透明硒化锌多晶
화학기상침적법생장투명서화자다정
GROWTH OF TRANSPARENT POLYCRYSTAL ZINC SELENIDE BY CHEMICAL VAPOR DEPOSITION
  • 万方数据
    硅酸盐学报 규산염학보
    JOURNAL OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY
    2004年 8期 946-949 ,共4页

    杨曜源%方珍意%蔡以超%王向阳%张力强%肖红涛%田鸿昌%东艳萍%李卫%郝永亮

    양요원%방진의%채이초%왕향양%장력강%초홍도%전홍창%동염평%리위%학영량

    硒化锌%化学气相沉积法%红外晶体 硒化鋅%化學氣相沉積法%紅外晶體
    서화자%화학기상침적법%홍외정체
    采用化学气相沉积(CVD)法,在Zn-Se-H2-Ar体系中生长了用于红外光学窗口的ZnSe透明多晶体.测定了ZnSe样品的XRD谱和红外透过光谱,用光学显微镜观察了样品的显微形貌;讨论了CVD工艺中生长参数对ZnSe晶体质量的影响.研究结果表明:通过优化的生长工艺,生长温度在500～750 ℃,压力在100～1 500 Pa的范围内,可以制备出高质量ZnSe多晶体;在8～12μm波段范围内,其红外透过率达70%以上.
    채용화학기상침적(CVD)법,재Zn-Se-H2-Ar체계중생장료용우홍외광학창구적ZnSe투명다정체.측정료ZnSe양품적XRD보화홍외투과광보,용광학현미경관찰료양품적현미형모;토론료CVD공예중생장삼수대ZnSe정체질량적영향.연구결과표명:통과우화적생장공예,생장온도재500～750 ℃,압력재100～1 500 Pa적범위내,가이제비출고질량ZnSe다정체;재8～12μm파단범위내,기홍외투과솔체70%이상.
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