光学学报
光學學報
광학학보
ACTA OPTICA SINICA
2006年
2期
311-316
,共6页
段淑卿%谭娜%苗壮%刘志文%张庆瑜
段淑卿%譚娜%苗壯%劉誌文%張慶瑜
단숙경%담나%묘장%류지문%장경유
光通信%Er/Yb共掺%光致发光%ZnO薄膜%微观结构
光通信%Er/Yb共摻%光緻髮光%ZnO薄膜%微觀結構
광통신%Er/Yb공참%광치발광%ZnO박막%미관결구
采用射频磁控溅射方法制备了Er/Yb共掺ZnO薄膜,研究了退火处理对高浓度Er/Yb共掺ZnO薄膜的结构演化和光致发光(PL)特性的影响.X射线衍射分析结果表明:Er/Yb掺杂导致ZnO薄膜的晶粒细化及择优取向性消失,ZnO晶粒随退火温度的增加而逐渐长大.900℃退火时,出现Er3+、Yb3+偏析,退火温度高于1000℃时,薄膜与基体间发生了界面反应,1200℃时,ZnO完全转变为Zn2SiO4相.光致发光测量结果表明:高于900℃退火处理后,Er/Yb共掺ZnO薄膜在1540 nm附近具有明显的光致发光,发光强度在退火温度为1050℃时达到最大值;光致发光光谱呈现典型的晶体基质中Er3+离子发光光谱所具有的明锐多峰结构特征.此外,探讨了薄膜结构演化及其对光致发光光谱的影响.
採用射頻磁控濺射方法製備瞭Er/Yb共摻ZnO薄膜,研究瞭退火處理對高濃度Er/Yb共摻ZnO薄膜的結構縯化和光緻髮光(PL)特性的影響.X射線衍射分析結果錶明:Er/Yb摻雜導緻ZnO薄膜的晶粒細化及擇優取嚮性消失,ZnO晶粒隨退火溫度的增加而逐漸長大.900℃退火時,齣現Er3+、Yb3+偏析,退火溫度高于1000℃時,薄膜與基體間髮生瞭界麵反應,1200℃時,ZnO完全轉變為Zn2SiO4相.光緻髮光測量結果錶明:高于900℃退火處理後,Er/Yb共摻ZnO薄膜在1540 nm附近具有明顯的光緻髮光,髮光彊度在退火溫度為1050℃時達到最大值;光緻髮光光譜呈現典型的晶體基質中Er3+離子髮光光譜所具有的明銳多峰結構特徵.此外,探討瞭薄膜結構縯化及其對光緻髮光光譜的影響.
채용사빈자공천사방법제비료Er/Yb공참ZnO박막,연구료퇴화처리대고농도Er/Yb공참ZnO박막적결구연화화광치발광(PL)특성적영향.X사선연사분석결과표명:Er/Yb참잡도치ZnO박막적정립세화급택우취향성소실,ZnO정립수퇴화온도적증가이축점장대.900℃퇴화시,출현Er3+、Yb3+편석,퇴화온도고우1000℃시,박막여기체간발생료계면반응,1200℃시,ZnO완전전변위Zn2SiO4상.광치발광측량결과표명:고우900℃퇴화처리후,Er/Yb공참ZnO박막재1540 nm부근구유명현적광치발광,발광강도재퇴화온도위1050℃시체도최대치;광치발광광보정현전형적정체기질중Er3+리자발광광보소구유적명예다봉결구특정.차외,탐토료박막결구연화급기대광치발광광보적영향.
