光电子·激光
光電子·激光
광전자·격광
JOURNAL OF OPTOECTRONICS·LASER
2007年
3期
296-298
,共3页
刘娟秀%羊恺%补世荣%张天良%宁俊松%罗正祥
劉娟秀%羊愷%補世榮%張天良%寧俊鬆%囉正祥
류연수%양개%보세영%장천량%저준송%라정상
激光辅助化学刻蚀%高温超导薄膜%钇钡铜氧(YBCO)
激光輔助化學刻蝕%高溫超導薄膜%釔鋇銅氧(YBCO)
격광보조화학각식%고온초도박막%을패동양(YBCO)
提出了将激光辅助化学刻蚀技术应用于钇钡铜氧(YBCO)高温超导薄膜的刻蚀,研究了无掩膜YBCO薄膜激光化学刻蚀的表面特性及其变化规律,为YBCO激光化学刻蚀技术中图形形状控制、刻蚀时间选择和激光功率调节等提供了重要的实验结论.研究发现:在激光辐照下,YBCO薄膜的液相刻蚀速率大大加快,将极大改善刻蚀中的横向钻蚀情况,并提高图形边缘的侧壁陡峭度,且整个过程中的刻蚀速率呈现加快趋势;无掩膜时,YBCO表面刻蚀程度持续过渡,激光光斑边界两侧并非严格分界;衬底铝酸镧(LaAlO3)的晶向对YBCO薄膜的表面刻蚀特征有较大影响,沿LaAlO3晶向方向的刻蚀程度高于非晶向方向.
提齣瞭將激光輔助化學刻蝕技術應用于釔鋇銅氧(YBCO)高溫超導薄膜的刻蝕,研究瞭無掩膜YBCO薄膜激光化學刻蝕的錶麵特性及其變化規律,為YBCO激光化學刻蝕技術中圖形形狀控製、刻蝕時間選擇和激光功率調節等提供瞭重要的實驗結論.研究髮現:在激光輻照下,YBCO薄膜的液相刻蝕速率大大加快,將極大改善刻蝕中的橫嚮鑽蝕情況,併提高圖形邊緣的側壁陡峭度,且整箇過程中的刻蝕速率呈現加快趨勢;無掩膜時,YBCO錶麵刻蝕程度持續過渡,激光光斑邊界兩側併非嚴格分界;襯底鋁痠鑭(LaAlO3)的晶嚮對YBCO薄膜的錶麵刻蝕特徵有較大影響,沿LaAlO3晶嚮方嚮的刻蝕程度高于非晶嚮方嚮.
제출료장격광보조화학각식기술응용우을패동양(YBCO)고온초도박막적각식,연구료무엄막YBCO박막격광화학각식적표면특성급기변화규률,위YBCO격광화학각식기술중도형형상공제、각식시간선택화격광공솔조절등제공료중요적실험결론.연구발현:재격광복조하,YBCO박막적액상각식속솔대대가쾌,장겁대개선각식중적횡향찬식정황,병제고도형변연적측벽두초도,차정개과정중적각식속솔정현가쾌추세;무엄막시,YBCO표면각식정도지속과도,격광광반변계량측병비엄격분계;츤저려산란(LaAlO3)적정향대YBCO박막적표면각식특정유교대영향,연LaAlO3정향방향적각식정도고우비정향방향.
