真空
真空
진공
VACUUM
2007年
6期
24-29
,共6页
类金刚石(DLC)膜%制备方法%性能%应用
類金剛石(DLC)膜%製備方法%性能%應用
류금강석(DLC)막%제비방법%성능%응용
类金刚石(DLC)膜是一种含有大量sp3的亚稳态非晶碳薄膜.本文简要地介绍了DLC膜的形成原理、制备方法、发展现状,及其在机械、电子、光学、声学、生物医学等领域的应用与存在的问题.
類金剛石(DLC)膜是一種含有大量sp3的亞穩態非晶碳薄膜.本文簡要地介紹瞭DLC膜的形成原理、製備方法、髮展現狀,及其在機械、電子、光學、聲學、生物醫學等領域的應用與存在的問題.
류금강석(DLC)막시일충함유대량sp3적아은태비정탄박막.본문간요지개소료DLC막적형성원리、제비방법、발전현상,급기재궤계、전자、광학、성학、생물의학등영역적응용여존재적문제.
