太阳能学报
太暘能學報
태양능학보
ACTA ENERGIAE SOLARIS SINICA
2008年
4期
395-399
,共5页
曹一江%王磊%于翔%韩爱珍
曹一江%王磊%于翔%韓愛珍
조일강%왕뢰%우상%한애진
GaAs薄膜%电共沉积%络合剂%EDTA
GaAs薄膜%電共沉積%絡閤劑%EDTA
GaAs박막%전공침적%락합제%EDTA
采用恒电流电共沉积技术,以SnO2导电玻璃为基片制备了CaAs薄膜.通过观察实验过程和对比各次实验结果,研究了在电解液中加入络合剂EDTA对成膜质量的影响以及实验过程中的烧焦现象和电火花现象.采用扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射(XRD)仪测试表明,沉积膜为GaAs多晶薄膜,加入络合剂EDTA明显改善了薄膜的表面形貌,提高了沉积膜的厚度,降低了各次实验数值分散性,而且使沉积膜中As与Ga的化学计量比更接近1:1.选择适当的沉积工艺可以避免烧焦和电火花的出现.
採用恆電流電共沉積技術,以SnO2導電玻璃為基片製備瞭CaAs薄膜.通過觀察實驗過程和對比各次實驗結果,研究瞭在電解液中加入絡閤劑EDTA對成膜質量的影響以及實驗過程中的燒焦現象和電火花現象.採用掃描電子顯微鏡(SEM)和X射線衍射(XRD)儀測試錶明,沉積膜為GaAs多晶薄膜,加入絡閤劑EDTA明顯改善瞭薄膜的錶麵形貌,提高瞭沉積膜的厚度,降低瞭各次實驗數值分散性,而且使沉積膜中As與Ga的化學計量比更接近1:1.選擇適噹的沉積工藝可以避免燒焦和電火花的齣現.
채용항전류전공침적기술,이SnO2도전파리위기편제비료CaAs박막.통과관찰실험과정화대비각차실험결과,연구료재전해액중가입락합제EDTA대성막질량적영향이급실험과정중적소초현상화전화화현상.채용소묘전자현미경(SEM)화X사선연사(XRD)의측시표명,침적막위GaAs다정박막,가입락합제EDTA명현개선료박막적표면형모,제고료침적막적후도,강저료각차실험수치분산성,이차사침적막중As여Ga적화학계량비경접근1:1.선택괄당적침적공예가이피면소초화전화화적출현.
