兵器材料科学与工程
兵器材料科學與工程
병기재료과학여공정
Ordnance Material Science and Engineering
2006年
5期
23-27
,共5页
张新%高勇%刘梦新%安涛%王彩琳%邢昆山
張新%高勇%劉夢新%安濤%王綵琳%邢昆山
장신%고용%류몽신%안도%왕채림%형곤산
SOI%埋层结构%自加热效应%高温特性
SOI%埋層結構%自加熱效應%高溫特性
SOI%매층결구%자가열효응%고온특성
硅基集成电路不能胜任高温工作环境,其高温工作上限一般为125℃.而基于SOI材料及其结构的器件,能突破高温的限制.介绍了SOI材料结构技术用于高温电路的优势,分析了影响高温性能的自加热效应.为实现良好的高温性能,比较了几种不同的埋层结构,提出了沟道下用氮化铝作埋层的SOI器件新结构,并对其高温输出性能随温度的变化进行了研究分析,得出了具有指导意义的分析结果.同时提出了根据埋层材料的介电常数不同,进行等效电容折算埋层厚度的新观点,从另一层面提出了抑制自加热效应的理论依据.
硅基集成電路不能勝任高溫工作環境,其高溫工作上限一般為125℃.而基于SOI材料及其結構的器件,能突破高溫的限製.介紹瞭SOI材料結構技術用于高溫電路的優勢,分析瞭影響高溫性能的自加熱效應.為實現良好的高溫性能,比較瞭幾種不同的埋層結構,提齣瞭溝道下用氮化鋁作埋層的SOI器件新結構,併對其高溫輸齣性能隨溫度的變化進行瞭研究分析,得齣瞭具有指導意義的分析結果.同時提齣瞭根據埋層材料的介電常數不同,進行等效電容摺算埋層厚度的新觀點,從另一層麵提齣瞭抑製自加熱效應的理論依據.
규기집성전로불능성임고온공작배경,기고온공작상한일반위125℃.이기우SOI재료급기결구적기건,능돌파고온적한제.개소료SOI재료결구기술용우고온전로적우세,분석료영향고온성능적자가열효응.위실현량호적고온성능,비교료궤충불동적매층결구,제출료구도하용담화려작매층적SOI기건신결구,병대기고온수출성능수온도적변화진행료연구분석,득출료구유지도의의적분석결과.동시제출료근거매층재료적개전상수불동,진행등효전용절산매층후도적신관점,종령일층면제출료억제자가열효응적이론의거.
