稀有金属
稀有金屬
희유금속
CHINESE JOURNAL OF RARE METALS
2007年
6期
737-741
,共5页
黄军辉%周旗钢%万关良%肖清华%库黎明
黃軍輝%週旂鋼%萬關良%肖清華%庫黎明
황군휘%주기강%만관량%초청화%고려명
双面化学机械抛光%轨迹模拟%非均匀性%DSP
雙麵化學機械拋光%軌跡模擬%非均勻性%DSP
쌍면화학궤계포광%궤적모의%비균균성%DSP
通过建立300 mm硅片双面化学机械抛光中硅片上定点相对于上下抛光垫的运动轨迹方程, 分析了内外齿轮转速、抛光布转速对运动轨迹分布的影响, 调整三者大小使得运动轨迹分布较均匀. 实验证明运动轨迹路径长度与抛光去除厚度成正比关系, 计算运动轨迹路径长度确定抛光垫的转速以达到上下表面具有相同的抛光速率. 研究结果为300 mm硅片双面化学机械抛光找出优化工艺参数、提高硅片抛光后表面质量提供了理论依据.
通過建立300 mm硅片雙麵化學機械拋光中硅片上定點相對于上下拋光墊的運動軌跡方程, 分析瞭內外齒輪轉速、拋光佈轉速對運動軌跡分佈的影響, 調整三者大小使得運動軌跡分佈較均勻. 實驗證明運動軌跡路徑長度與拋光去除厚度成正比關繫, 計算運動軌跡路徑長度確定拋光墊的轉速以達到上下錶麵具有相同的拋光速率. 研究結果為300 mm硅片雙麵化學機械拋光找齣優化工藝參數、提高硅片拋光後錶麵質量提供瞭理論依據.
통과건립300 mm규편쌍면화학궤계포광중규편상정점상대우상하포광점적운동궤적방정, 분석료내외치륜전속、포광포전속대운동궤적분포적영향, 조정삼자대소사득운동궤적분포교균균. 실험증명운동궤적로경장도여포광거제후도성정비관계, 계산운동궤적로경장도학정포광점적전속이체도상하표면구유상동적포광속솔. 연구결과위300 mm규편쌍면화학궤계포광조출우화공예삼수、제고규편포광후표면질량제공료이론의거.
