机械制造
機械製造
궤계제조
MACHINERY
2008年
4期
43-46
,共4页
MEMS%磁通门%传感器%磁芯
MEMS%磁通門%傳感器%磁芯
MEMS%자통문%전감기%자심
基于MEMS(Micro Electro-Meclhanical Systems)技术的微型磁通门传感器具有体积小、重量轻、成本低、可靠性高、灵敏度高等传统磁通门器件无法比拟的优点.为此对磁通门的原理与结构进行了阐述,并介绍了3种典型磁芯结构微型磁通门传感器的研究现状,指出提高精度、缩小体积、集成化制造、数字化设计、批量化生产是微型磁通门传感器的发展趋势.
基于MEMS(Micro Electro-Meclhanical Systems)技術的微型磁通門傳感器具有體積小、重量輕、成本低、可靠性高、靈敏度高等傳統磁通門器件無法比擬的優點.為此對磁通門的原理與結構進行瞭闡述,併介紹瞭3種典型磁芯結構微型磁通門傳感器的研究現狀,指齣提高精度、縮小體積、集成化製造、數字化設計、批量化生產是微型磁通門傳感器的髮展趨勢.
기우MEMS(Micro Electro-Meclhanical Systems)기술적미형자통문전감기구유체적소、중량경、성본저、가고성고、령민도고등전통자통문기건무법비의적우점.위차대자통문적원리여결구진행료천술,병개소료3충전형자심결구미형자통문전감기적연구현상,지출제고정도、축소체적、집성화제조、수자화설계、비양화생산시미형자통문전감기적발전추세.
