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열처리
HEAT TREATMENT
2010年
4期
24-31
,共8页
厚度效应%蒙特卡罗模拟%晶粒生长%纳米薄膜%Ni/SiO2多层膜
厚度效應%矇特卡囉模擬%晶粒生長%納米薄膜%Ni/SiO2多層膜
후도효응%몽특잡라모의%정립생장%납미박막%Ni/SiO2다층막
利用各向异性的蒙特卡罗方法模拟了纳米薄膜在退火过程中的晶粒生长.模拟结果显示,纳米薄膜的厚度效应并非体现在晶粒生长的整个过程中,而是仅当平均晶粒尺寸达到厚度的0.8～1.2倍时才明显表现出来.为描述这种晶粒生长的动力学过程,需要对Burke方程添加一个与晶粒平均尺寸和薄膜厚度之比相关的因子进行修正.Ni/SiO2纳米多层薄膜晶粒生长的试验结果证明了修正方程的合理性.通过比较溶质拖曳、第二相拖曳和厚度效应的动力学方程,提出了一个更为普遍适用的动力学方程.
利用各嚮異性的矇特卡囉方法模擬瞭納米薄膜在退火過程中的晶粒生長.模擬結果顯示,納米薄膜的厚度效應併非體現在晶粒生長的整箇過程中,而是僅噹平均晶粒呎吋達到厚度的0.8～1.2倍時纔明顯錶現齣來.為描述這種晶粒生長的動力學過程,需要對Burke方程添加一箇與晶粒平均呎吋和薄膜厚度之比相關的因子進行脩正.Ni/SiO2納米多層薄膜晶粒生長的試驗結果證明瞭脩正方程的閤理性.通過比較溶質拖抴、第二相拖抴和厚度效應的動力學方程,提齣瞭一箇更為普遍適用的動力學方程.
이용각향이성적몽특잡라방법모의료납미박막재퇴화과정중적정립생장.모의결과현시,납미박막적후도효응병비체현재정립생장적정개과정중,이시부당평균정립척촌체도후도적0.8～1.2배시재명현표현출래.위묘술저충정립생장적동역학과정,수요대Burke방정첨가일개여정립평균척촌화박막후도지비상관적인자진행수정.Ni/SiO2납미다층박막정립생장적시험결과증명료수정방정적합이성.통과비교용질타예、제이상타예화후도효응적동역학방정,제출료일개경위보편괄용적동역학방정.
