CAJ | 학술논문

本文利用孪生靶50 kHz中频磁控反应溅射的方法,在多孔阳极层离子束源产生的低温离子束辅助条件下制备了光学性能良好的氧化钛薄膜.利用原子力显微镜、分光光度计、椭圆偏振光谱仪研究了离子束功率以及退火温度对氧化钛薄膜形貌、光学折射率和消光系数、孔隙率等的影响.结果表明:利用中频孪生磁控溅射的方法将沉积工艺控制在反应过渡区,可以有效的抑制钛靶中毒和阳极消失,反应溅射过程稳定;辅助离子束提高了等离子体的电荷密度;氧化钛薄膜堆积密度和光学折射率也有所提高,薄膜表面趋于平坦,孔隙率降低.氧化钛薄膜在高温退火处理时由于出现从非晶到多晶转变以及晶体长大与转变,结构逐渐趋于完整,表面粗糙度不断增加;800℃时完全转化为金红石相,晶粒直径约70nm.
본문이용련생파50 kHz중빈자공반응천사적방법,재다공양겁층리자속원산생적저온리자속보조조건하제비료광학성능량호적양화태박막.이용원자력현미경、분광광도계、타원편진광보의연구료리자속공솔이급퇴화온도대양화태박막형모、광학절사솔화소광계수、공극솔등적영향.결과표명:이용중빈련생자공천사적방법장침적공예공제재반응과도구,가이유효적억제태파중독화양겁소실,반응천사과정은정;보조리자속제고료등리자체적전하밀도;양화태박막퇴적밀도화광학절사솔야유소제고,박막표면추우평탄,공극솔강저.양화태박막재고온퇴화처리시유우출현종비정도다정전변이급정체장대여전변,결구축점추우완정,표면조조도불단증가;800℃시완전전화위금홍석상,정립직경약70nm.