半导体技术
半導體技術
반도체기술
SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY
2011年
1期
26-30
,共5页
戚玉婕%车录锋%孙腾%王跃林
慼玉婕%車錄鋒%孫騰%王躍林
척옥첩%차록봉%손등%왕약림
电容式加速度计%反馈补偿参数%Q值%微机械系统%MATLAB
電容式加速度計%反饋補償參數%Q值%微機械繫統%MATLAB
전용식가속도계%반궤보상삼수%Q치%미궤계계통%MATLAB
高Q值MEMS电容式加速度计因具有很小的机械噪声,满足于高精度测量的需要,但欠阻尼的传感器系统动态性能较差,因此需要在闭环检测电路中通过补偿反馈模块施加电学阻尼,以降低系统Q值,改善系统的动态响应.首先通过MATLAB/SIMULINK仿真建立了带有延时的系统模型,进一步结合实际PCB板的测量,分析了不同反馈补偿参数下的阶跃响应和幅频响应曲线.实验结果表明,合适的反馈补偿参数能有效地降低系统Q值,改善动态响应.最后得出了该电容式加速度计在闭环系统下的较优比例微分参数的选择策略.
高Q值MEMS電容式加速度計因具有很小的機械譟聲,滿足于高精度測量的需要,但欠阻尼的傳感器繫統動態性能較差,因此需要在閉環檢測電路中通過補償反饋模塊施加電學阻尼,以降低繫統Q值,改善繫統的動態響應.首先通過MATLAB/SIMULINK倣真建立瞭帶有延時的繫統模型,進一步結閤實際PCB闆的測量,分析瞭不同反饋補償參數下的階躍響應和幅頻響應麯線.實驗結果錶明,閤適的反饋補償參數能有效地降低繫統Q值,改善動態響應.最後得齣瞭該電容式加速度計在閉環繫統下的較優比例微分參數的選擇策略.
고Q치MEMS전용식가속도계인구유흔소적궤계조성,만족우고정도측량적수요,단흠조니적전감기계통동태성능교차,인차수요재폐배검측전로중통과보상반궤모괴시가전학조니,이강저계통Q치,개선계통적동태향응.수선통과MATLAB/SIMULINK방진건립료대유연시적계통모형,진일보결합실제PCB판적측량,분석료불동반궤보상삼수하적계약향응화폭빈향응곡선.실험결과표명,합괄적반궤보상삼수능유효지강저계통Q치,개선동태향응.최후득출료해전용식가속도계재폐배계통하적교우비례미분삼수적선택책략.
