红外
紅外
홍외
INFRARED
2011年
8期
1-7
,共7页
薄膜均匀性%透射光谱法%干涉峰
薄膜均勻性%透射光譜法%榦涉峰
박막균균성%투사광보법%간섭봉
介绍了一种新的简单有效的薄膜均匀性信息获取方法,该方法基于我们先前提出的纳米薄膜厚度精确测量方法,它通过检测镀制在含有过渡层的衬底上不同位置的薄膜的光谱,并由其干涉峰间的差异获取薄膜的均匀性信息.与传统方法相比,该方法无需直接测量薄膜的厚度,减少了测量膜厚带来的误差和影响,因而可以快速得出薄膜均匀性结论.该方法操作方便、计算简单,为改进镀膜工艺提供了重要参考.
介紹瞭一種新的簡單有效的薄膜均勻性信息穫取方法,該方法基于我們先前提齣的納米薄膜厚度精確測量方法,它通過檢測鍍製在含有過渡層的襯底上不同位置的薄膜的光譜,併由其榦涉峰間的差異穫取薄膜的均勻性信息.與傳統方法相比,該方法無需直接測量薄膜的厚度,減少瞭測量膜厚帶來的誤差和影響,因而可以快速得齣薄膜均勻性結論.該方法操作方便、計算簡單,為改進鍍膜工藝提供瞭重要參攷.
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