真空
真空
진공
VACUUM
2012年
1期
60-64
,共5页
廖芳%侯惠君%邱万奇%林松盛%代明江%韦春贝
廖芳%侯惠君%邱萬奇%林鬆盛%代明江%韋春貝
료방%후혜군%구만기%림송성%대명강%위춘패
离子渗氮%磁控溅射%类金刚石膜%摩擦系数
離子滲氮%磁控濺射%類金剛石膜%摩抆繫數
리자삼담%자공천사%류금강석막%마찰계수
采用阳极层流离子源与非平衡磁控溅射结合的沉积方法在H13钢基体表面沉积出类金刚石膜(DLC),并对H13钢经不同表面预处理对后沉积的DLC膜的摩擦学性能进行了对比研究.结果表明:DLC膜结构致密,且DLC膜与梯度过渡层及基体三者之间结合牢固；H13钢经离子氮化后,梯度过渡层与氮化层间结合紧密,提高了膜与基体的承载能力；在保持相同摩擦速率的条件下,摩擦系数随着载荷的增加先增大后减小；H13钢离子渗氮处理后沉积的DLC膜其摩擦系数远小于未采用离子渗氮处理沉积的DLC薄膜.
採用暘極層流離子源與非平衡磁控濺射結閤的沉積方法在H13鋼基體錶麵沉積齣類金剛石膜(DLC),併對H13鋼經不同錶麵預處理對後沉積的DLC膜的摩抆學性能進行瞭對比研究.結果錶明:DLC膜結構緻密,且DLC膜與梯度過渡層及基體三者之間結閤牢固；H13鋼經離子氮化後,梯度過渡層與氮化層間結閤緊密,提高瞭膜與基體的承載能力；在保持相同摩抆速率的條件下,摩抆繫數隨著載荷的增加先增大後減小；H13鋼離子滲氮處理後沉積的DLC膜其摩抆繫數遠小于未採用離子滲氮處理沉積的DLC薄膜.
채용양겁층류리자원여비평형자공천사결합적침적방법재H13강기체표면침적출류금강석막(DLC),병대H13강경불동표면예처리대후침적적DLC막적마찰학성능진행료대비연구.결과표명:DLC막결구치밀,차DLC막여제도과도층급기체삼자지간결합뢰고；H13강경리자담화후,제도과도층여담화층간결합긴밀,제고료막여기체적승재능력；재보지상동마찰속솔적조건하,마찰계수수착재하적증가선증대후감소；H13강리자삼담처리후침적적DLC막기마찰계수원소우미채용리자삼담처리침적적DLC박막.
