有色金属
有色金屬
유색금속
NONFERROUS METALS
2011年
3期
38-40
,共3页
胡建锋%徐玉%熊斌%蒋君祥
鬍建鋒%徐玉%熊斌%蔣君祥
호건봉%서옥%웅빈%장군상
多晶硅%电沉积%综述%熔盐电解%电脱氧
多晶硅%電沉積%綜述%鎔鹽電解%電脫氧
다정규%전침적%종술%용염전해%전탈양
介绍熔盐电解技术在多晶硅提纯中的研究进展,根据工艺的条件、流程和原理的不同,熔盐电解提纯硅技术为常规阴极电沉积硅技术和固态阴极熔盐电脱氧制备硅技术.综述这两类技术的国内外研究现状,总结各工艺的特点,分析存在的问题,展望应用前景.
介紹鎔鹽電解技術在多晶硅提純中的研究進展,根據工藝的條件、流程和原理的不同,鎔鹽電解提純硅技術為常規陰極電沉積硅技術和固態陰極鎔鹽電脫氧製備硅技術.綜述這兩類技術的國內外研究現狀,總結各工藝的特點,分析存在的問題,展望應用前景.
개소용염전해기술재다정규제순중적연구진전,근거공예적조건、류정화원리적불동,용염전해제순규기술위상규음겁전침적규기술화고태음겁용염전탈양제비규기술.종술저량류기술적국내외연구현상,총결각공예적특점,분석존재적문제,전망응용전경.