人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2011年
4期
887-891,897
,共6页
马晓敏%赵占霞%宋晨辰%赵磊%马忠权
馬曉敏%趙佔霞%宋晨辰%趙磊%馬忠權
마효민%조점하%송신신%조뢰%마충권
太阳电池%掺杂ZnO薄膜%抗腐蚀性能%透过率
太暘電池%摻雜ZnO薄膜%抗腐蝕性能%透過率
태양전지%참잡ZnO박막%항부식성능%투과솔
用于太阳电池窗口层的材料必须具有好的耐蚀性.利用射频磁控溅射的方法分别在300℃、350℃、400℃、450℃的沉积温度下制备透明导电Sc掺杂ZnO薄膜(SZO).用X射线衍射仪对样品的结构进行表征.结果表明,所有SZO薄膜均为六角纤锌矿结构,在(002)衍射峰位上相对于纯ZnO粉末有微小的偏移.用动电位扫描极化曲线和交流阻抗谱表征SZO薄膜的耐腐蚀性能,研究结果表明随沉积温度的升高,SZO薄膜的耐腐蚀性增强.在可见光范围内SZO薄膜透过率达85％以上,经3.5％的NaCl溶液腐蚀24h后薄膜透过率仍在80％以上.
用于太暘電池窗口層的材料必鬚具有好的耐蝕性.利用射頻磁控濺射的方法分彆在300℃、350℃、400℃、450℃的沉積溫度下製備透明導電Sc摻雜ZnO薄膜(SZO).用X射線衍射儀對樣品的結構進行錶徵.結果錶明,所有SZO薄膜均為六角纖鋅礦結構,在(002)衍射峰位上相對于純ZnO粉末有微小的偏移.用動電位掃描極化麯線和交流阻抗譜錶徵SZO薄膜的耐腐蝕性能,研究結果錶明隨沉積溫度的升高,SZO薄膜的耐腐蝕性增彊.在可見光範圍內SZO薄膜透過率達85％以上,經3.5％的NaCl溶液腐蝕24h後薄膜透過率仍在80％以上.
용우태양전지창구층적재료필수구유호적내식성.이용사빈자공천사적방법분별재300℃、350℃、400℃、450℃적침적온도하제비투명도전Sc참잡ZnO박막(SZO).용X사선연사의대양품적결구진행표정.결과표명,소유SZO박막균위륙각섬자광결구,재(002)연사봉위상상대우순ZnO분말유미소적편이.용동전위소묘겁화곡선화교류조항보표정SZO박막적내부식성능,연구결과표명수침적온도적승고,SZO박막적내부식성증강.재가견광범위내SZO박막투과솔체85％이상,경3.5％적NaCl용액부식24h후박막투과솔잉재80％이상.
