材料导报
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재료도보
MATERIALS REVIEW
2010年
z2期
75-79
,共5页
尹云飞%车晓舟%李国锋%马洪涛
尹雲飛%車曉舟%李國鋒%馬洪濤
윤운비%차효주%리국봉%마홍도
FCVA%超薄类金刚石薄膜%可见光拉曼光谱%紫外拉曼光谱
FCVA%超薄類金剛石薄膜%可見光拉曼光譜%紫外拉曼光譜
FCVA%초박류금강석박막%가견광랍만광보%자외랍만광보
采用FCVA方法制备厚度分别为50nm、30nm、10nm、5nm、2nm的DLC薄膜,利用可见光拉曼光谱分析薄膜的G峰位置、Id/g和Ag/Ad,发现随着薄膜厚度的减小,Id/Ig不断增大,AgAd减小,G峰位置向低波数方向移动.紫外拉曼光谱分析结果表明,薄膜厚度减薄会减小It/Lg使T峰位置向高波数方向移动.结合两种不同波长的拉曼光谱进行分析,G峰偏移量随薄膜厚度减小呈下降趋势;随薄膜厚度的减小,FCVA法制备的类金刚石薄膜中的sp3键含量减少,同时有序化的sp2团簇增加.EELS结果也证实,薄膜厚度的减小会减少薄膜中sp3键的含量.对于50nm和30nm的非晶碳膜,拉曼光谱分析的结果与薄膜硬度和内应力实际测试结果存在一致的对应关系.
採用FCVA方法製備厚度分彆為50nm、30nm、10nm、5nm、2nm的DLC薄膜,利用可見光拉曼光譜分析薄膜的G峰位置、Id/g和Ag/Ad,髮現隨著薄膜厚度的減小,Id/Ig不斷增大,AgAd減小,G峰位置嚮低波數方嚮移動.紫外拉曼光譜分析結果錶明,薄膜厚度減薄會減小It/Lg使T峰位置嚮高波數方嚮移動.結閤兩種不同波長的拉曼光譜進行分析,G峰偏移量隨薄膜厚度減小呈下降趨勢;隨薄膜厚度的減小,FCVA法製備的類金剛石薄膜中的sp3鍵含量減少,同時有序化的sp2糰簇增加.EELS結果也證實,薄膜厚度的減小會減少薄膜中sp3鍵的含量.對于50nm和30nm的非晶碳膜,拉曼光譜分析的結果與薄膜硬度和內應力實際測試結果存在一緻的對應關繫.
채용FCVA방법제비후도분별위50nm、30nm、10nm、5nm、2nm적DLC박막,이용가견광랍만광보분석박막적G봉위치、Id/g화Ag/Ad,발현수착박막후도적감소,Id/Ig불단증대,AgAd감소,G봉위치향저파수방향이동.자외랍만광보분석결과표명,박막후도감박회감소It/Lg사T봉위치향고파수방향이동.결합량충불동파장적랍만광보진행분석,G봉편이량수박막후도감소정하강추세;수박막후도적감소,FCVA법제비적류금강석박막중적sp3건함량감소,동시유서화적sp2단족증가.EELS결과야증실,박막후도적감소회감소박막중sp3건적함량.대우50nm화30nm적비정탄막,랍만광보분석적결과여박막경도화내응력실제측시결과존재일치적대응관계.
