应用科技
應用科技
응용과기
YING YONG KE JI
2010年
6期
61-64
,共4页
TiO2薄膜%直流反应磁控溅射%衬底温度%光学特性%包络线法
TiO2薄膜%直流反應磁控濺射%襯底溫度%光學特性%包絡線法
TiO2박막%직류반응자공천사%츤저온도%광학특성%포락선법
采用直流反应磁控溅射法在玻璃衬底上制备TiO2薄膜.用紫外-可见光分光光度计和AFM分别表征了薄膜的透射率和表面形貌,用包络线法详细研究了不同衬底温度下TiO2薄膜的光学特性.结果表明:薄膜在可见光波段有很高的透明度,且随着衬底温度的升高,薄膜的透射率略有增加,薄膜的折射率和吸收系数增大,薄膜的光学带隙减小;同时,薄膜表面粗糙度减小,薄膜变得平整.
採用直流反應磁控濺射法在玻璃襯底上製備TiO2薄膜.用紫外-可見光分光光度計和AFM分彆錶徵瞭薄膜的透射率和錶麵形貌,用包絡線法詳細研究瞭不同襯底溫度下TiO2薄膜的光學特性.結果錶明:薄膜在可見光波段有很高的透明度,且隨著襯底溫度的升高,薄膜的透射率略有增加,薄膜的摺射率和吸收繫數增大,薄膜的光學帶隙減小;同時,薄膜錶麵粗糙度減小,薄膜變得平整.
채용직류반응자공천사법재파리츤저상제비TiO2박막.용자외-가견광분광광도계화AFM분별표정료박막적투사솔화표면형모,용포락선법상세연구료불동츤저온도하TiO2박막적광학특성.결과표명:박막재가견광파단유흔고적투명도,차수착츤저온도적승고,박막적투사솔략유증가,박막적절사솔화흡수계수증대,박막적광학대극감소;동시,박막표면조조도감소,박막변득평정.
