四氯化硅氢化制备三氯氢硅的研究进展
사록화규경화제비삼록경규적연구진전
Research Progress on Preparation of Trichlorosilane through Hydrogenation of Silicon Tetrachloride
  • 万方数据
    广州化工 엄주화공
    GUANGZHOU CHEMICAL INDUSTRY AND TECHNOLOGY
    2010年 1期 7-9 ,共3页

    刘继三%姚又省%柯曾鹏

    류계삼%요우성%가증붕

    四氯化硅%三氯氢硅%氢化 四氯化硅%三氯氫硅%氫化
    사록화규%삼록경규%경화
    综述了多晶硅副产物四氯化硅的处理方法,将四氯化硅氢化制备三氯氢硅是最有效的方法,此方法不仅处理掉了四氯化硅,同时生成了多晶硅生产的原料三氯氢硅,大幅的降低了生产成本.重点介绍了四氯化硅的氢化,包括热氢化、冷氢化与等离子体氢化三种方法.
    종술료다정규부산물사록화규적처리방법,장사록화규경화제비삼록경규시최유효적방법,차방법불부처리도료사록화규,동시생성료다정규생산적원료삼록경규,대폭적강저료생산성본.중점개소료사록화규적경화,포괄열경화、랭경화여등리자체경화삼충방법.
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