光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2009年
8期
1790-1797
,共8页
金珠%温志渝%张智海%黄尚廉
金珠%溫誌渝%張智海%黃尚廉
금주%온지투%장지해%황상렴
微机电系统%光栅光调制器%交叉效应%无源矩阵驱动
微機電繫統%光柵光調製器%交扠效應%無源矩陣驅動
미궤전계통%광책광조제기%교차효응%무원구진구동
为了讨论交叉效应对无源矩阵驱动的光栅光调制器的影响,建立了无源矩阵驱动光栅光调制器的电学模型.介绍了光栅光调制器的工作原理和驱动电压.利用基尔霍夫的电流定理和电压定理,对该无源矩阵驱动阵列的电学模型进行化简分析,得到了交叉效应中半选点像素、非选点像素与全选点像素之间的电压关系.实验测得器件的驱动电压,并对加工的阵列器件进行交叉效应验证,得到这3种像素的±1级衍射光强与全选点像素驱动电压的关系.最后,提出两种抑制交叉效应的方法.实验结果显示:光栅光调制器的工作电压为8 V,吸合电压约8.5 V时;对于加工的16×16阵列,半选点像素电压约为全选点像素电压的1/2,且远大于非选点像素电压,结论与交叉效应理论分析一致.结果表明:交叉效应会降低阵列的光学对比度和光利用率,而器件较低的驱动电压有利于与有源矩阵电路实现单片集成,消除器件的交叉效应.
為瞭討論交扠效應對無源矩陣驅動的光柵光調製器的影響,建立瞭無源矩陣驅動光柵光調製器的電學模型.介紹瞭光柵光調製器的工作原理和驅動電壓.利用基爾霍伕的電流定理和電壓定理,對該無源矩陣驅動陣列的電學模型進行化簡分析,得到瞭交扠效應中半選點像素、非選點像素與全選點像素之間的電壓關繫.實驗測得器件的驅動電壓,併對加工的陣列器件進行交扠效應驗證,得到這3種像素的±1級衍射光彊與全選點像素驅動電壓的關繫.最後,提齣兩種抑製交扠效應的方法.實驗結果顯示:光柵光調製器的工作電壓為8 V,吸閤電壓約8.5 V時;對于加工的16×16陣列,半選點像素電壓約為全選點像素電壓的1/2,且遠大于非選點像素電壓,結論與交扠效應理論分析一緻.結果錶明:交扠效應會降低陣列的光學對比度和光利用率,而器件較低的驅動電壓有利于與有源矩陣電路實現單片集成,消除器件的交扠效應.
위료토론교차효응대무원구진구동적광책광조제기적영향,건립료무원구진구동광책광조제기적전학모형.개소료광책광조제기적공작원리화구동전압.이용기이곽부적전류정리화전압정리,대해무원구진구동진렬적전학모형진행화간분석,득도료교차효응중반선점상소、비선점상소여전선점상소지간적전압관계.실험측득기건적구동전압,병대가공적진렬기건진행교차효응험증,득도저3충상소적±1급연사광강여전선점상소구동전압적관계.최후,제출량충억제교차효응적방법.실험결과현시:광책광조제기적공작전압위8 V,흡합전압약8.5 V시;대우가공적16×16진렬,반선점상소전압약위전선점상소전압적1/2,차원대우비선점상소전압,결론여교차효응이론분석일치.결과표명:교차효응회강저진렬적광학대비도화광이용솔,이기건교저적구동전압유리우여유원구진전로실현단편집성,소제기건적교차효응.
