真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2010年
4期
425-429
,共5页
李强%王德苗%金浩%任高潮%董树荣
李彊%王德苗%金浩%任高潮%董樹榮
리강%왕덕묘%금호%임고조%동수영
石英晶振%激光调频%谐振频率%Q脉冲宽度
石英晶振%激光調頻%諧振頻率%Q脈遲寬度
석영정진%격광조빈%해진빈솔%Q맥충관도
石英晶振的谐振频率在出厂前都需要进行微调,使之达到需要的标称值.本文提出激光调频的新技术,利用适当激光能量使电极膜层汽化减薄,从而使晶振的频率精确升高到预期值,重点研究了激光器的工作电流和Q脉冲宽度等参数对晶振频率微调的影响.实验结果表明:当工作电流太小(<10 A)或Q脉冲宽度太大(>10μs)时,激光脉冲的峰值能量密度太小不足以有效实现频率微调;当工作电流和Q脉冲宽度比较合适(电流约为11 A,Q脉冲宽度为4~10μs)时,石英晶振的谐振频率可以被线性地调节,此时对晶振其它电性能参数影响很小;当工作电流过大(>11 A)或Q脉冲宽度过小(<4μs)时,激光脉冲能量密度过大,很容易对电极膜造成损伤而导致不能起振.
石英晶振的諧振頻率在齣廠前都需要進行微調,使之達到需要的標稱值.本文提齣激光調頻的新技術,利用適噹激光能量使電極膜層汽化減薄,從而使晶振的頻率精確升高到預期值,重點研究瞭激光器的工作電流和Q脈遲寬度等參數對晶振頻率微調的影響.實驗結果錶明:噹工作電流太小(<10 A)或Q脈遲寬度太大(>10μs)時,激光脈遲的峰值能量密度太小不足以有效實現頻率微調;噹工作電流和Q脈遲寬度比較閤適(電流約為11 A,Q脈遲寬度為4~10μs)時,石英晶振的諧振頻率可以被線性地調節,此時對晶振其它電性能參數影響很小;噹工作電流過大(>11 A)或Q脈遲寬度過小(<4μs)時,激光脈遲能量密度過大,很容易對電極膜造成損傷而導緻不能起振.
석영정진적해진빈솔재출엄전도수요진행미조,사지체도수요적표칭치.본문제출격광조빈적신기술,이용괄당격광능량사전겁막층기화감박,종이사정진적빈솔정학승고도예기치,중점연구료격광기적공작전류화Q맥충관도등삼수대정진빈솔미조적영향.실험결과표명:당공작전류태소(<10 A)혹Q맥충관도태대(>10μs)시,격광맥충적봉치능량밀도태소불족이유효실현빈솔미조;당공작전류화Q맥충관도비교합괄(전류약위11 A,Q맥충관도위4~10μs)시,석영정진적해진빈솔가이피선성지조절,차시대정진기타전성능삼수영향흔소;당공작전류과대(>11 A)혹Q맥충관도과소(<4μs)시,격광맥충능량밀도과대,흔용역대전겁막조성손상이도치불능기진.