应用光学
應用光學
응용광학
JOURNAL OF APPLIED OPTICS
2008年
6期
900-904
,共5页
曹希斌%赵宝升%赛小锋%韦永林%李伟%赵菲菲
曹希斌%趙寶升%賽小鋒%韋永林%李偉%趙菲菲
조희빈%조보승%새소봉%위영림%리위%조비비
X射线像增强器%反射式光电阴极%MCP
X射線像增彊器%反射式光電陰極%MCP
X사선상증강기%반사식광전음겁%MCP
鉴于传统的检测方法无法看到封装后芯片内部的线路虚焊和桥接等问题,而且随着封装的小型化和组装的高密度化以及各种新型封装技术的不断涌现,对于检测装置的分辨率要求越来越高,而高分辨率的X射线检测装置是解决这一问题的关键.提出一种新型高分辨率X射线像增强器,它是线路板检测和芯片封装检测装置中的核心器件之一,其极限分辨率制约着X射线检测装置的发展.通过对其制作工艺的改进和采用新型窗口材料进行真空封接,使其分辨率达到了20 lp/mm.
鑒于傳統的檢測方法無法看到封裝後芯片內部的線路虛銲和橋接等問題,而且隨著封裝的小型化和組裝的高密度化以及各種新型封裝技術的不斷湧現,對于檢測裝置的分辨率要求越來越高,而高分辨率的X射線檢測裝置是解決這一問題的關鍵.提齣一種新型高分辨率X射線像增彊器,它是線路闆檢測和芯片封裝檢測裝置中的覈心器件之一,其極限分辨率製約著X射線檢測裝置的髮展.通過對其製作工藝的改進和採用新型窗口材料進行真空封接,使其分辨率達到瞭20 lp/mm.
감우전통적검측방법무법간도봉장후심편내부적선로허한화교접등문제,이차수착봉장적소형화화조장적고밀도화이급각충신형봉장기술적불단용현,대우검측장치적분변솔요구월래월고,이고분변솔적X사선검측장치시해결저일문제적관건.제출일충신형고분변솔X사선상증강기,타시선로판검측화심편봉장검측장치중적핵심기건지일,기겁한분변솔제약착X사선검측장치적발전.통과대기제작공예적개진화채용신형창구재료진행진공봉접,사기분변솔체도료20 lp/mm.
