功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2008年
9期
1446-1449
,共4页
姚荣迁%冯祖德%余煜玺%李思维%陈立富%张立同
姚榮遷%馮祖德%餘煜璽%李思維%陳立富%張立同
요영천%풍조덕%여욱새%리사유%진립부%장립동
聚碳硅烷%先驱体法%碳化硅%自由薄膜
聚碳硅烷%先驅體法%碳化硅%自由薄膜
취탄규완%선구체법%탄화규%자유박막
以聚碳硅烷(PCS)为先驱体,通过自行设计的喷膜板熔融纺出连续PCS自由薄膜,并对其进行氧化交联与高温裂解烧结可制得连续SiC自由薄膜.用扫描电镜分析薄膜表面和横断面的形貌,通过红外光谱(FTIR)分析氧化交联后薄膜的结构,通过拉曼光谱(Raman spectroscopy)、X射线衍射(XRD)与场发射高分辨透射电子显微镜(HRTEM)对薄膜进行微观分析.结果表明,熔融纺膜与聚碳硅烷先驱体法相结合可制得均匀、致密的连续β-SiC自由薄膜,其厚度可通过调节喷膜板的喷膜口尺寸大小和纺膜速度进行控制,薄膜的厚度大约在10～30μm.
以聚碳硅烷(PCS)為先驅體,通過自行設計的噴膜闆鎔融紡齣連續PCS自由薄膜,併對其進行氧化交聯與高溫裂解燒結可製得連續SiC自由薄膜.用掃描電鏡分析薄膜錶麵和橫斷麵的形貌,通過紅外光譜(FTIR)分析氧化交聯後薄膜的結構,通過拉曼光譜(Raman spectroscopy)、X射線衍射(XRD)與場髮射高分辨透射電子顯微鏡(HRTEM)對薄膜進行微觀分析.結果錶明,鎔融紡膜與聚碳硅烷先驅體法相結閤可製得均勻、緻密的連續β-SiC自由薄膜,其厚度可通過調節噴膜闆的噴膜口呎吋大小和紡膜速度進行控製,薄膜的厚度大約在10～30μm.
이취탄규완(PCS)위선구체,통과자행설계적분막판용융방출련속PCS자유박막,병대기진행양화교련여고온렬해소결가제득련속SiC자유박막.용소묘전경분석박막표면화횡단면적형모,통과홍외광보(FTIR)분석양화교련후박막적결구,통과랍만광보(Raman spectroscopy)、X사선연사(XRD)여장발사고분변투사전자현미경(HRTEM)대박막진행미관분석.결과표명,용융방막여취탄규완선구체법상결합가제득균균、치밀적련속β-SiC자유박막,기후도가통과조절분막판적분막구척촌대소화방막속도진행공제,박막적후도대약재10～30μm.
