仪表技术与传感器
儀錶技術與傳感器
의표기술여전감기
INSTRUMENT TECHNIQUE AND SENSOR
2008年
6期
12-15
,共4页
王嘉力%刘宏%姜力%高晓辉
王嘉力%劉宏%薑力%高曉輝
왕가력%류굉%강력%고효휘
薄膜%应变计%力传感器%MEMS
薄膜%應變計%力傳感器%MEMS
박막%응변계%력전감기%MEMS
介绍了利用薄膜技术制作的微型六维力/力矩传感器.提出了在传感器弹性体铝合金基体上磁控溅射80Ni20Cr薄膜电阻应变计的加工工艺,说明了工艺的实现步骤.实验研究了几种常用的绝缘层材料,并采用Al2O3作为绝缘层材料.通过改进薄膜制作掩模纠正了绝缘层失效的问题.说明了引线键合实现传感器微型化及系统集成.并给出六维力传感器的主要静态精度指标.
介紹瞭利用薄膜技術製作的微型六維力/力矩傳感器.提齣瞭在傳感器彈性體鋁閤金基體上磁控濺射80Ni20Cr薄膜電阻應變計的加工工藝,說明瞭工藝的實現步驟.實驗研究瞭幾種常用的絕緣層材料,併採用Al2O3作為絕緣層材料.通過改進薄膜製作掩模糾正瞭絕緣層失效的問題.說明瞭引線鍵閤實現傳感器微型化及繫統集成.併給齣六維力傳感器的主要靜態精度指標.
개소료이용박막기술제작적미형륙유력/력구전감기.제출료재전감기탄성체려합금기체상자공천사80Ni20Cr박막전조응변계적가공공예,설명료공예적실현보취.실험연구료궤충상용적절연층재료,병채용Al2O3작위절연층재료.통과개진박막제작엄모규정료절연층실효적문제.설명료인선건합실현전감기미형화급계통집성.병급출륙유력전감기적주요정태정도지표.
