强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2008年
6期
1003-1006
,共4页
陈军%林莉%林国强%郝胜智%王富岗
陳軍%林莉%林國彊%郝勝智%王富崗
진군%림리%림국강%학성지%왕부강
TiNbN硬质薄膜%强流脉冲离子束%膜基结合力%摩擦磨损
TiNbN硬質薄膜%彊流脈遲離子束%膜基結閤力%摩抆磨損
TiNbN경질박막%강류맥충리자속%막기결합력%마찰마손
利用分离靶电弧离子镀工艺在高速钢基体上制备TiNbN多元硬质薄膜,利用TEMP-6型强流脉冲离子束(HIPIB)设备,采用含C/H离子、加速电压300 kV、脉冲宽度70 ns、束流密度60 A/cm2的强流脉冲离子束对所制备的薄膜进行辐照处理,研究辐照前后膜层的摩擦磨损性能的变化.实验结果表明:HIPIB辐照以后,薄膜的表面熔化,摩擦系数降低,晶粒细化,膜层的硬度由HK3444提高到HK3820,膜基结合力由59 N提高到65 N.在测试载荷300 N和600 N条件下,薄膜的摩擦磨损性能均有较大改善.
利用分離靶電弧離子鍍工藝在高速鋼基體上製備TiNbN多元硬質薄膜,利用TEMP-6型彊流脈遲離子束(HIPIB)設備,採用含C/H離子、加速電壓300 kV、脈遲寬度70 ns、束流密度60 A/cm2的彊流脈遲離子束對所製備的薄膜進行輻照處理,研究輻照前後膜層的摩抆磨損性能的變化.實驗結果錶明:HIPIB輻照以後,薄膜的錶麵鎔化,摩抆繫數降低,晶粒細化,膜層的硬度由HK3444提高到HK3820,膜基結閤力由59 N提高到65 N.在測試載荷300 N和600 N條件下,薄膜的摩抆磨損性能均有較大改善.
이용분리파전호리자도공예재고속강기체상제비TiNbN다원경질박막,이용TEMP-6형강류맥충리자속(HIPIB)설비,채용함C/H리자、가속전압300 kV、맥충관도70 ns、속류밀도60 A/cm2적강류맥충리자속대소제비적박막진행복조처리,연구복조전후막층적마찰마손성능적변화.실험결과표명:HIPIB복조이후,박막적표면용화,마찰계수강저,정립세화,막층적경도유HK3444제고도HK3820,막기결합력유59 N제고도65 N.재측시재하300 N화600 N조건하,박막적마찰마손성능균유교대개선.
