CAJ | 학술논문

研究一种优化的超精密点对点运动三阶轨迹规划算法及其精度控制策略.在简要分析三阶轨迹轮廓可能情形的基础上,建立三个约束基准用来预判别以上情形:速度-加速度基准、位移-加速度基准和位移-速度基准,依据该基准与系统约束,提出一种考虑轨迹全过程的预处理方法,并给出时间优化的轨迹规划算法.考虑算法离散实现时的精度损失,提出一种轨迹规划内部整数积分策略,避免因浮点积分操作所造成的数据漂移而引起的精度失败.此外,提出一种基于位置修正因子的补偿方法,克服切换时间圆整所引起的终点位置偏差.实例证明提出算法的有效性和可靠性.该算法已成功应用于半导体加工装备研发中.
연구일충우화적초정밀점대점운동삼계궤적규화산법급기정도공제책략.재간요분석삼계궤적륜곽가능정형적기출상,건립삼개약속기준용래예판별이상정형:속도-가속도기준、위이-가속도기준화위이-속도기준,의거해기준여계통약속,제출일충고필궤적전과정적예처리방법,병급출시간우화적궤적규화산법.고필산법리산실현시적정도손실,제출일충궤적규화내부정수적분책략,피면인부점적분조작소조성적수거표이이인기적정도실패.차외,제출일충기우위치수정인자적보상방법,극복절환시간원정소인기적종점위치편차.실예증명제출산법적유효성화가고성.해산법이성공응용우반도체가공장비연발중.