机电工程技术
機電工程技術
궤전공정기술
MACHANICAL & ELECTRICAL ENGINEERING TECHNOLOGY
2007年
12期
89-92
,共4页
LIGA%X射线深层光刻%微电铸工艺%微复制工艺%准LIGA技术
LIGA%X射線深層光刻%微電鑄工藝%微複製工藝%準LIGA技術
LIGA%X사선심층광각%미전주공예%미복제공예%준LIGA기술
本文主要阐述了LIGA技术的工艺过程,包括X射线深层光刻、微电铸和微复制工艺.对LIGA重点工序进行了总结并阐明其工艺要点.介绍了在LIGA技术基础上发展起来的准LIGA工艺技术和LIGA技术的发展的趋势.
本文主要闡述瞭LIGA技術的工藝過程,包括X射線深層光刻、微電鑄和微複製工藝.對LIGA重點工序進行瞭總結併闡明其工藝要點.介紹瞭在LIGA技術基礎上髮展起來的準LIGA工藝技術和LIGA技術的髮展的趨勢.
본문주요천술료LIGA기술적공예과정,포괄X사선심층광각、미전주화미복제공예.대LIGA중점공서진행료총결병천명기공예요점.개소료재LIGA기술기출상발전기래적준LIGA공예기술화LIGA기술적발전적추세.
