CAJ | 학술논문

研究了高温工作环境下Ti/Al/Ni/Au(15 nm/220 nm/40 nm/50 nm)四层复合金属层与n-GaN(Nd=3.7×1017 cm-3,Nd=3.0×1018 cm-3)的欧姆接触特性,试验结果标明,当测量温度低于300 ℃时,存储时间为0～24 h,其接触电阻率基本不变,表现出良好的温度可靠性;分别经过300、500 ℃各24 h高温存储后,其欧姆接触发生了较为明显的退化,且不可恢复.接触电阻率均随测量温度的增加而增大,掺杂浓度越高,其接触电阻率随测量温度的升高缓慢增加;重掺杂样品的n-GaN/Ti/Al/Ni/Au欧姆接触具有更高的高温可靠性.
연구료고온공작배경하Ti/Al/Ni/Au(15 nm/220 nm/40 nm/50 nm)사층복합금속층여n-GaN(Nd=3.7×1017 cm-3,Nd=3.0×1018 cm-3)적구모접촉특성,시험결과표명,당측량온도저우300 ℃시,존저시간위0～24 h,기접촉전조솔기본불변,표현출량호적온도가고성;분별경과300、500 ℃각24 h고온존저후,기구모접촉발생료교위명현적퇴화,차불가회복.접촉전조솔균수측량온도적증가이증대,참잡농도월고,기접촉전조솔수측량온도적승고완만증가;중참잡양품적n-GaN/Ti/Al/Ni/Au구모접촉구유경고적고온가고성.