微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2007年
3期
23-26
,共4页
刘莹%姚李英%刘世炳%吴坚%陈涛
劉瑩%姚李英%劉世炳%吳堅%陳濤
류형%요리영%류세병%오견%진도
毛细管电泳芯片%微加工%准分子激光%聚合物
毛細管電泳芯片%微加工%準分子激光%聚閤物
모세관전영심편%미가공%준분자격광%취합물
提出了一种采用248 nm准分子激光直写微加工系统制备聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)基毛细管电泳芯片的新方法.主要对毛细管电泳芯片的样品池和微通道进行了实验研究.在19 kV,20 Hz,500个脉冲条件下,厚度为1.5 mm PMMA表面获得直径为1 mm、锥度为4.7 °的池;对宽度均为100 μm,深度不同的微通道底面进行了键合前后比较.最后在键合后宽度为100 μm、深度为30 μm的芯片上成功地完成了进样实验.
提齣瞭一種採用248 nm準分子激光直寫微加工繫統製備聚甲基丙烯痠甲酯(PMMA)基毛細管電泳芯片的新方法.主要對毛細管電泳芯片的樣品池和微通道進行瞭實驗研究.在19 kV,20 Hz,500箇脈遲條件下,厚度為1.5 mm PMMA錶麵穫得直徑為1 mm、錐度為4.7 °的池;對寬度均為100 μm,深度不同的微通道底麵進行瞭鍵閤前後比較.最後在鍵閤後寬度為100 μm、深度為30 μm的芯片上成功地完成瞭進樣實驗.
제출료일충채용248 nm준분자격광직사미가공계통제비취갑기병희산갑지(PMMA)기모세관전영심편적신방법.주요대모세관전영심편적양품지화미통도진행료실험연구.재19 kV,20 Hz,500개맥충조건하,후도위1.5 mm PMMA표면획득직경위1 mm、추도위4.7 °적지;대관도균위100 μm,심도불동적미통도저면진행료건합전후비교.최후재건합후관도위100 μm、심도위30 μm적심편상성공지완성료진양실험.
