微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2007年
7期
257-259
,共3页
田文杰%宁永怀%崔媛媛%鄂然%张福学
田文傑%寧永懷%崔媛媛%鄂然%張福學
전문걸%저영부%최원원%악연%장복학
石英单基多谐振器%力敏特性%加力方位角
石英單基多諧振器%力敏特性%加力方位角
석영단기다해진기%력민특성%가력방위각
根据石英晶体振动理论及力敏特性,在同一圆形晶体基片上设计制作了多个石英晶体谐振器.采用对径加力的方式,研究了这种石英单基多谐振器的力敏特性与加力方位的关系,并与传统的单基单电极谐振器的力敏特性进行了比较.实验结果表明,同一晶体基片上不同位置的谐振器的力敏特性与加力方位密切相关;选择适当的加力方位,可使多电极结构的谐振器的力-频转换系数优于单电极谐振器的力-频转换系数.
根據石英晶體振動理論及力敏特性,在同一圓形晶體基片上設計製作瞭多箇石英晶體諧振器.採用對徑加力的方式,研究瞭這種石英單基多諧振器的力敏特性與加力方位的關繫,併與傳統的單基單電極諧振器的力敏特性進行瞭比較.實驗結果錶明,同一晶體基片上不同位置的諧振器的力敏特性與加力方位密切相關;選擇適噹的加力方位,可使多電極結構的諧振器的力-頻轉換繫數優于單電極諧振器的力-頻轉換繫數.
근거석영정체진동이론급력민특성,재동일원형정체기편상설계제작료다개석영정체해진기.채용대경가력적방식,연구료저충석영단기다해진기적력민특성여가력방위적관계,병여전통적단기단전겁해진기적력민특성진행료비교.실험결과표명,동일정체기편상불동위치적해진기적력민특성여가력방위밀절상관;선택괄당적가력방위,가사다전겁결구적해진기적력-빈전환계수우우단전겁해진기적력-빈전환계수.
