液晶与显示
液晶與顯示
액정여현시
CHINESE JOURNAL OF LIQUID CRYSTALS AND DISPLAYS
2007年
5期
535-540
,共6页
顾广瑞%吴宝嘉%金逢锡%金哲%李哲奎
顧廣瑞%吳寶嘉%金逢錫%金哲%李哲奎
고엄서%오보가%금봉석%금철%리철규
场发射%碳膜%纳米针%微波等离子体化学气相沉积
場髮射%碳膜%納米針%微波等離子體化學氣相沉積
장발사%탄막%납미침%미파등리자체화학기상침적
利用石英管型微波等离子体化学气相沉积装置,在Si基板上制备了具有纳米针状结构的碳膜.场发射特性测试表明,纳米针状结构碳膜具有良好的场发射特性,阈值电场为2.2 V/μm,外加电场为9 V/μm时,电流密度达到65 mA/cm2.利用统计效应修改了Fowler-Nordheim (F-N) 模型,成功地解释了在低电场区域的场发射机理.但是利用修改的F-N模型,不能解释高电场区域的电流密度的饱和现象,这将有待于进一步研究.
利用石英管型微波等離子體化學氣相沉積裝置,在Si基闆上製備瞭具有納米針狀結構的碳膜.場髮射特性測試錶明,納米針狀結構碳膜具有良好的場髮射特性,閾值電場為2.2 V/μm,外加電場為9 V/μm時,電流密度達到65 mA/cm2.利用統計效應脩改瞭Fowler-Nordheim (F-N) 模型,成功地解釋瞭在低電場區域的場髮射機理.但是利用脩改的F-N模型,不能解釋高電場區域的電流密度的飽和現象,這將有待于進一步研究.
이용석영관형미파등리자체화학기상침적장치,재Si기판상제비료구유납미침상결구적탄막.장발사특성측시표명,납미침상결구탄막구유량호적장발사특성,역치전장위2.2 V/μm,외가전장위9 V/μm시,전류밀도체도65 mA/cm2.이용통계효응수개료Fowler-Nordheim (F-N) 모형,성공지해석료재저전장구역적장발사궤리.단시이용수개적F-N모형,불능해석고전장구역적전류밀도적포화현상,저장유대우진일보연구.
