脉冲激光微细加工曝光区温度的不接触测量
맥충격광미세가공폭광구온도적불접촉측량
Remote Temperature Measurement of the Exposed Region in Pulse Laser Assisted Microprocessing
  • 万方数据
    光电子·激光 광전자·격광
    JOURNAL OF OPTOECTRONICS·LASER
    2007年 9期 1096-1099 ,共4页

    王小林%王昱林%徐攀%叶玉堂%吴云峰%刘霖%范超%焦世龙

    왕소림%왕욱림%서반%협옥당%오운봉%류림%범초%초세룡

    脉冲激光微细加工%红外辐射测量%不接触温度测量%采样保持 脈遲激光微細加工%紅外輻射測量%不接觸溫度測量%採樣保持
    맥충격광미세가공%홍외복사측량%불접촉온도측량%채양보지
    针对大功率脉冲激光微细加工区域工作激光对辐射测温的影响,提出在周期脉冲激光的间隙内提取温度信号的新方法,应用采样保持原理,研制相应的测量系统,通过温度定标,从A/D采样值直接读取温度值.结果表明,该温度测量系统能有效地消除工作激光对温度测量的干扰,准确地测量曝光区域的温度,在温度为500℃左右时,系统的温度分辨能力可达0.03℃,能满足激光扩散、激光合金等工艺要求.
    침대대공솔맥충격광미세가공구역공작격광대복사측온적영향,제출재주기맥충격광적간극내제취온도신호적신방법,응용채양보지원리,연제상응적측량계통,통과온도정표,종A/D채양치직접독취온도치.결과표명,해온도측량계통능유효지소제공작격광대온도측량적간우,준학지측량폭광구역적온도,재온도위500℃좌우시,계통적온도분변능력가체0.03℃,능만족격광확산、격광합금등공예요구.
    원문보기 원문다운로드 사이트로이동
저자의 최근 논문