浙江工业大学学报
浙江工業大學學報
절강공업대학학보
Journal of Zhejiang University of Technology
2007年
5期
525-529
,共5页
旋转体视%微流控芯片硅阳模%弱透视视觉空间畸变%等畸变面
鏇轉體視%微流控芯片硅暘模%弱透視視覺空間畸變%等畸變麵
선전체시%미류공심편규양모%약투시시각공간기변%등기변면
微分析系统的核心元件--微流控芯片的制造常采用热压法或模塑法,所需的单晶硅阳模则常用湿法刻蚀加工.为了测量硅阳模的三维外型,结合微测量的特点并基于旋转体视测量原理提出一种新的显微测量方法,开发出一种新的旋转体视显微检测系统(Rotational-Stereo based Micro Measurement System,RSMMS).根据旋转体视显微检测成像几何导出RSMMS中弱透视视觉模型,基于微光学视觉系统中的成像畸变探讨在MEMS微制造过程中光学视觉监控的三维空间畸变,分析了三维等畸变面随畸变因子的变化.仿真结果描述了视觉空间畸变的通常规律并为实际畸变的产生和校正提供了理论依据,同时为光学检测或监控过程提供了视觉畸变的理论分析基础.
微分析繫統的覈心元件--微流控芯片的製造常採用熱壓法或模塑法,所需的單晶硅暘模則常用濕法刻蝕加工.為瞭測量硅暘模的三維外型,結閤微測量的特點併基于鏇轉體視測量原理提齣一種新的顯微測量方法,開髮齣一種新的鏇轉體視顯微檢測繫統(Rotational-Stereo based Micro Measurement System,RSMMS).根據鏇轉體視顯微檢測成像幾何導齣RSMMS中弱透視視覺模型,基于微光學視覺繫統中的成像畸變探討在MEMS微製造過程中光學視覺鑑控的三維空間畸變,分析瞭三維等畸變麵隨畸變因子的變化.倣真結果描述瞭視覺空間畸變的通常規律併為實際畸變的產生和校正提供瞭理論依據,同時為光學檢測或鑑控過程提供瞭視覺畸變的理論分析基礎.
미분석계통적핵심원건--미류공심편적제조상채용열압법혹모소법,소수적단정규양모칙상용습법각식가공.위료측량규양모적삼유외형,결합미측량적특점병기우선전체시측량원리제출일충신적현미측량방법,개발출일충신적선전체시현미검측계통(Rotational-Stereo based Micro Measurement System,RSMMS).근거선전체시현미검측성상궤하도출RSMMS중약투시시각모형,기우미광학시각계통중적성상기변탐토재MEMS미제조과정중광학시각감공적삼유공간기변,분석료삼유등기변면수기변인자적변화.방진결과묘술료시각공간기변적통상규률병위실제기변적산생화교정제공료이론의거,동시위광학검측혹감공과정제공료시각기변적이론분석기출.
