仪表技术与传感器
儀錶技術與傳感器
의표기술여전감기
INSTRUMENT TECHNIQUE AND SENSOR
2007年
7期
1-2,80
,共3页
电容%位移传感器%激励电路
電容%位移傳感器%激勵電路
전용%위이전감기%격려전로
研制了一种高精度电容式位移传感器,详细介绍了该传感器的基本工作原理和提高传感器精度的关键技术,对电容传感器的具体电路进行模块化设计;分析影响传感器精度与稳定性的因素,采用完全等电位屏蔽技术,对正弦激励电路、参考电容、传感器测头、电源进行技术改进,最后对电容传感器进行系统标定.实验证明:该传感器测量范围为±5-±40 μm,测量分辨率《10 nm,测量精度《20 nm.
研製瞭一種高精度電容式位移傳感器,詳細介紹瞭該傳感器的基本工作原理和提高傳感器精度的關鍵技術,對電容傳感器的具體電路進行模塊化設計;分析影響傳感器精度與穩定性的因素,採用完全等電位屏蔽技術,對正絃激勵電路、參攷電容、傳感器測頭、電源進行技術改進,最後對電容傳感器進行繫統標定.實驗證明:該傳感器測量範圍為±5-±40 μm,測量分辨率《10 nm,測量精度《20 nm.
연제료일충고정도전용식위이전감기,상세개소료해전감기적기본공작원리화제고전감기정도적관건기술,대전용전감기적구체전로진행모괴화설계;분석영향전감기정도여은정성적인소,채용완전등전위병폐기술,대정현격려전로、삼고전용、전감기측두、전원진행기술개진,최후대전용전감기진행계통표정.실험증명:해전감기측량범위위±5-±40 μm,측량분변솔《10 nm,측량정도《20 nm.
