半导体学报
半導體學報
반도체학보
CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
2007年
6期
869-872
,共4页
魏学成%赵有文%董志远%李晋闽
魏學成%趙有文%董誌遠%李晉閩
위학성%조유문%동지원%리진민
气相传输法%ZnO单晶%动力学%生长机理
氣相傳輸法%ZnO單晶%動力學%生長機理
기상전수법%ZnO단정%동역학%생장궤리
研究了化学气相传输法(CVT)生长ZnO单晶的传输过程、动力学和生长机理,分析了CVT法的传输机理、效率以及温场对传输速率和晶体生长的影响.利用气相-固相单晶成核和生长动力学理论研究了制约单晶生长速度和晶体质量的因素.我们得到的不同条件下ZnO单晶CVT生长的实验结果和现象与理论分析一致,获得了ZnO单晶生长的理想条件和高质量的大尺寸ZnO单晶材料.
研究瞭化學氣相傳輸法(CVT)生長ZnO單晶的傳輸過程、動力學和生長機理,分析瞭CVT法的傳輸機理、效率以及溫場對傳輸速率和晶體生長的影響.利用氣相-固相單晶成覈和生長動力學理論研究瞭製約單晶生長速度和晶體質量的因素.我們得到的不同條件下ZnO單晶CVT生長的實驗結果和現象與理論分析一緻,穫得瞭ZnO單晶生長的理想條件和高質量的大呎吋ZnO單晶材料.
연구료화학기상전수법(CVT)생장ZnO단정적전수과정、동역학화생장궤리,분석료CVT법적전수궤리、효솔이급온장대전수속솔화정체생장적영향.이용기상-고상단정성핵화생장동역학이론연구료제약단정생장속도화정체질량적인소.아문득도적불동조건하ZnO단정CVT생장적실험결과화현상여이론분석일치,획득료ZnO단정생장적이상조건화고질량적대척촌ZnO단정재료.
