半闭环磁场中磁控溅射镀膜工艺对TiN硬度的影响
반폐배자장중자공천사도막공예대TiN경도적영향
Influence on hardness of TiN of magnetic controlled spatter coating technology in semi-closed loop magnet field
  • 万方数据
    航天制造技术 항천제조기술
    HANGTIAN ZHIXAO JI SHU
    2006年 3期 12-13,17 ,共3页

    金杰%李刘合%舒祥东

    금걸%리류합%서상동

    磁控溅射%纳米硬度%脉冲偏压%TioN薄膜 磁控濺射%納米硬度%脈遲偏壓%TioN薄膜
    자공천사%납미경도%맥충편압%TioN박막
    在不同的工艺条件下,利用复合磁控溅射镀膜机双直流溅射靶,镀制了大量的试验样品,通过即测定不同工艺参数条件下三个试样膜层的硬度.经过仔细分析发现,磁场的分布、靶基距和温度对薄膜的硬度影响很大.
    재불동적공예조건하,이용복합자공천사도막궤쌍직류천사파,도제료대량적시험양품,통과즉측정불동공예삼수조건하삼개시양막층적경도.경과자세분석발현,자장적분포、파기거화온도대박막적경도영향흔대.
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