计测技术
計測技術
계측기술
METROLOGY & MEASUREMENT TECHNOLOGY
2006年
2期
36-38
,共3页
左勇%张月平%蒋芝兰%李慧贤
左勇%張月平%蔣芝蘭%李慧賢
좌용%장월평%장지란%리혜현
压电陶瓷微位移器%精密定位%PID
壓電陶瓷微位移器%精密定位%PID
압전도자미위이기%정밀정위%PID
针对压电陶瓷器件在精密定位控制中存在的迟滞、蠕变和位移非线性等不足,本文采用压电陶瓷直接粘贴应变片组成测量电桥作为位置反馈环节,设计了带上下限位的变参数PID闭环控制微位移系统,达到了预期的控制精度和效果.
針對壓電陶瓷器件在精密定位控製中存在的遲滯、蠕變和位移非線性等不足,本文採用壓電陶瓷直接粘貼應變片組成測量電橋作為位置反饋環節,設計瞭帶上下限位的變參數PID閉環控製微位移繫統,達到瞭預期的控製精度和效果.
침대압전도자기건재정밀정위공제중존재적지체、연변화위이비선성등불족,본문채용압전도자직접점첩응변편조성측량전교작위위치반궤배절,설계료대상하한위적변삼수PID폐배공제미위이계통,체도료예기적공제정도화효과.
