光机电信息
光機電信息
광궤전신식
OME INFORMATION
2006年
2期
56-60
,共5页
张亚萍%殷海荣%黄剑锋%李启甲
張亞萍%慇海榮%黃劍鋒%李啟甲
장아평%은해영%황검봉%리계갑
透明导电膜%AZO膜%溶胶-凝胶法
透明導電膜%AZO膜%溶膠-凝膠法
투명도전막%AZO막%용효-응효법
综述了透明导电薄膜的性能、种类、制备工艺、研究及应用状况,重点介绍了掺铝氧化锌(AZO)薄膜的结构、导电机理、光电性能和当前的研究焦点,指出了需要进一步从材料选择、制备工艺的研究、多层膜光学设计等方面提高透明导电薄膜的综合性能,以满足尖端技术的需要.
綜述瞭透明導電薄膜的性能、種類、製備工藝、研究及應用狀況,重點介紹瞭摻鋁氧化鋅(AZO)薄膜的結構、導電機理、光電性能和噹前的研究焦點,指齣瞭需要進一步從材料選擇、製備工藝的研究、多層膜光學設計等方麵提高透明導電薄膜的綜閤性能,以滿足尖耑技術的需要.
종술료투명도전박막적성능、충류、제비공예、연구급응용상황,중점개소료참려양화자(AZO)박막적결구、도전궤리、광전성능화당전적연구초점,지출료수요진일보종재료선택、제비공예적연구、다층막광학설계등방면제고투명도전박막적종합성능,이만족첨단기술적수요.
