传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2006年
2期
273-276
,共4页
周建发%赵玉龙%苑国英%蒋庄德
週建髮%趙玉龍%苑國英%蔣莊德
주건발%조옥룡%원국영%장장덕
压力传感器%扩散%温度传感器%湿度传感器%集成传感器
壓力傳感器%擴散%溫度傳感器%濕度傳感器%集成傳感器
압력전감기%확산%온도전감기%습도전감기%집성전감기
为了实现小体积多参数的测量,提出一种单片集成多功能传感器.该传感器包括压力、温度和湿度传感器.各部分分别基于半导体压阻效应、电阻迁移率变化、极板间电容变化为原理制作而成.该传感器采用n型(100)基底,利用体硅和面硅工艺加工而成.测量电阻通过离子注入B+形成扩散电阻.为减小各参数间的相互影响,压力传感器的测量电阻布置于[110]晶向,测温电阻沿[100]晶向布置.温度输出信号可以实现对传感器中压力输出时温度漂移的精确补偿.芯片大小为5mm× 5 mm.试验表明传感器具有良好的线性,小迟滞,较高的灵敏度.
為瞭實現小體積多參數的測量,提齣一種單片集成多功能傳感器.該傳感器包括壓力、溫度和濕度傳感器.各部分分彆基于半導體壓阻效應、電阻遷移率變化、極闆間電容變化為原理製作而成.該傳感器採用n型(100)基底,利用體硅和麵硅工藝加工而成.測量電阻通過離子註入B+形成擴散電阻.為減小各參數間的相互影響,壓力傳感器的測量電阻佈置于[110]晶嚮,測溫電阻沿[100]晶嚮佈置.溫度輸齣信號可以實現對傳感器中壓力輸齣時溫度漂移的精確補償.芯片大小為5mm× 5 mm.試驗錶明傳感器具有良好的線性,小遲滯,較高的靈敏度.
위료실현소체적다삼수적측량,제출일충단편집성다공능전감기.해전감기포괄압력、온도화습도전감기.각부분분별기우반도체압조효응、전조천이솔변화、겁판간전용변화위원리제작이성.해전감기채용n형(100)기저,이용체규화면규공예가공이성.측량전조통과리자주입B+형성확산전조.위감소각삼수간적상호영향,압력전감기적측량전조포치우[110]정향,측온전조연[100]정향포치.온도수출신호가이실현대전감기중압력수출시온도표이적정학보상.심편대소위5mm× 5 mm.시험표명전감기구유량호적선성,소지체,교고적령민도.
