KZ-400离子束刻蚀装置的研制
KZ-400리자속각식장치적연제
Development of KZ-400 Ion Beam Etching Facility
  • 万方数据
    真空科学与技术学报 진공과학여기술학보
    JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
    2006年 1期 48-53 ,共6页

    徐朝银%董晓浩%赵飞云%高飞%徐德权%凤良杰%阎佐健%孙继武

    서조은%동효호%조비운%고비%서덕권%봉량걸%염좌건%손계무

    离子束刻蚀%有限元分析%扫描运动%束流密度均匀性%优化设计 離子束刻蝕%有限元分析%掃描運動%束流密度均勻性%優化設計
    리자속각식%유한원분석%소묘운동%속류밀도균균성%우화설계
    日前我室为制作大口径(400 mm×400 mm)衍射光学元件需要,成功研制了一台KZ-400离子束刻蚀装置.它是基于物理溅射效应,将基底匀速扫描条形离子束,连续铣削材料的原子层来实现大面积刻蚀.通过对关键部位的有限元计算,分析影响装置性能的主要因素,优化工艺结构,使各项指标达到了设计要求,现已投入运行.
    일전아실위제작대구경(400 mm×400 mm)연사광학원건수요,성공연제료일태KZ-400리자속각식장치.타시기우물리천사효응,장기저균속소묘조형리자속,련속선삭재료적원자층래실현대면적각식.통과대관건부위적유한원계산,분석영향장치성능적주요인소,우화공예결구,사각항지표체도료설계요구,현이투입운행.
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