微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2006年
1期
7-12
,共6页
微光刻技术%数据格式转换%图形切割%沿边切割算法
微光刻技術%數據格式轉換%圖形切割%沿邊切割算法
미광각기술%수거격식전환%도형절할%연변절할산법
为了编制能够运行于Windows操作系统且又能够挂靠在L-EDIT数据格式上的转换软件,提出了一种新的将微光刻图形CIF数据格式转换为PG3600数据格式的图形切割算法--沿边切割法,重点讨论了圆形和多边形切割成矩形的具体算法,并与其它几种常见的切割算法进行了比较,表明该算法对于不规则图形的切割具有明显的优越性.
為瞭編製能夠運行于Windows操作繫統且又能夠掛靠在L-EDIT數據格式上的轉換軟件,提齣瞭一種新的將微光刻圖形CIF數據格式轉換為PG3600數據格式的圖形切割算法--沿邊切割法,重點討論瞭圓形和多邊形切割成矩形的具體算法,併與其它幾種常見的切割算法進行瞭比較,錶明該算法對于不規則圖形的切割具有明顯的優越性.
위료편제능구운행우Windows조작계통차우능구괘고재L-EDIT수거격식상적전환연건,제출료일충신적장미광각도형CIF수거격식전환위PG3600수거격식적도형절할산법--연변절할법,중점토론료원형화다변형절할성구형적구체산법,병여기타궤충상견적절할산법진행료비교,표명해산법대우불규칙도형적절할구유명현적우월성.
