材料导报
材料導報
재료도보
MATERIALS REVIEW
2005年
z2期
300-303
,共4页
ZnO薄膜%结构分析%XRD
ZnO薄膜%結構分析%XRD
ZnO박막%결구분석%XRD
ZnO薄膜是继GaN材料之后的另一种具有应用前景的直接宽带隙半导体材料.针对目前对ZnO薄膜结构的分析,综述了ZnO薄膜结构表征的常用方法,着重分析了XRD在ZnO薄膜结构方面的应用.
ZnO薄膜是繼GaN材料之後的另一種具有應用前景的直接寬帶隙半導體材料.針對目前對ZnO薄膜結構的分析,綜述瞭ZnO薄膜結構錶徵的常用方法,著重分析瞭XRD在ZnO薄膜結構方麵的應用.
ZnO박막시계GaN재료지후적령일충구유응용전경적직접관대극반도체재료.침대목전대ZnO박막결구적분석,종술료ZnO박막결구표정적상용방법,착중분석료XRD재ZnO박막결구방면적응용.
