四川师范大学学报（自然科学版）
四川師範大學學報（自然科學版）
사천사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF SICHUAN NORMAL UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)
2005年
6期
687-690
,共4页
椭偏光谱仪%类金刚石薄膜%sp3/sp2%多样品分析法
橢偏光譜儀%類金剛石薄膜%sp3/sp2%多樣品分析法
타편광보의%류금강석박막%sp3/sp2%다양품분석법
应用椭偏光谱法研究了一系列不含氢DLC样品,讨论了样品制备与测量、模型的建立及多样品分析法和椭偏数据拟合,表明椭偏光谱法可以确定DLC膜的厚度,并可反映出sp3成份百分比变化与制备时偏置电压的关系.
應用橢偏光譜法研究瞭一繫列不含氫DLC樣品,討論瞭樣品製備與測量、模型的建立及多樣品分析法和橢偏數據擬閤,錶明橢偏光譜法可以確定DLC膜的厚度,併可反映齣sp3成份百分比變化與製備時偏置電壓的關繫.
응용타편광보법연구료일계렬불함경DLC양품,토론료양품제비여측량、모형적건립급다양품분석법화타편수거의합,표명타편광보법가이학정DLC막적후도,병가반영출sp3성빈백분비변화여제비시편치전압적관계.
