机电一体化
機電一體化
궤전일체화
MECHATRONICS
2005年
3期
39-43
,共5页
华晓青%欧阳航空%李鸣鸣%葛轶君%孙麟治
華曉青%歐暘航空%李鳴鳴%葛軼君%孫麟治
화효청%구양항공%리명명%갈질군%손린치
载物工作台%精密定位%光栅测量%补偿
載物工作檯%精密定位%光柵測量%補償
재물공작태%정밀정위%광책측량%보상
介绍了大行程纳米定位载物工作台中宏动系统的组成,研究了如何在传统的滚珠丝杠传动及直线滚珠导轨导向方式下,通过光栅测量装置检测并反馈控制系统,以及相应补偿等,使宏动载物工作台完成微定位要求的定位精度和分辨率的宏定位.
介紹瞭大行程納米定位載物工作檯中宏動繫統的組成,研究瞭如何在傳統的滾珠絲槓傳動及直線滾珠導軌導嚮方式下,通過光柵測量裝置檢測併反饋控製繫統,以及相應補償等,使宏動載物工作檯完成微定位要求的定位精度和分辨率的宏定位.
개소료대행정납미정위재물공작태중굉동계통적조성,연구료여하재전통적곤주사강전동급직선곤주도궤도향방식하,통과광책측량장치검측병반궤공제계통,이급상응보상등,사굉동재물공작태완성미정위요구적정위정도화분변솔적굉정위.
